請教一下金剛石薄膜的制備技術(DLC、MPCVD)
我是做基礎核物理的,我們一直在找一種合適的將碳鍍到襯底表面的方法,因為碳源是甲烷,同時對碳層和襯底的結合力有一定要求,一直沒找到合適的方法。
最近偶然了解金剛石薄膜這個技術,包括MPCVD技術制備金剛石膜,從文獻中看到氣源只需要氫氣和甲烷的混合氣體,非常符合我們的實驗需求,因此看看能不能應用到我們的實驗上。各路大神有哪位了解具體的技術細節(jié)嗎?以及國內哪些單位和老師可以提供這方面的技術支持?
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我是做基礎核物理的,我們一直在找一種合適的將碳鍍到襯底表面的方法,因為碳源是甲烷,同時對碳層和襯底的結合力有一定要求,一直沒找到合適的方法。
最近偶然了解金剛石薄膜這個技術,包括MPCVD技術制備金剛石膜,從文獻中看到氣源只需要氫氣和甲烷的混合氣體,非常符合我們的實驗需求,因此看看能不能應用到我們的實驗上。各路大神有哪位了解具體的技術細節(jié)嗎?以及國內哪些單位和老師可以提供這方面的技術支持?
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我們有mpcvd設備,可以提供鍍膜服務
請問你們是用甲烷作為碳源嗎?鍍出來的膜是什么效果?之前我這邊試驗的結果鍍上去都是粉末狀的,一擦就掉了
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