請(qǐng)教一下金剛石薄膜的制備技術(shù)(DLC、MPCVD)
我是做基礎(chǔ)核物理的,我們一直在找一種合適的將碳鍍到襯底表面的方法,因?yàn)樘荚词羌淄椋瑫r(shí)對(duì)碳層和襯底的結(jié)合力有一定要求,一直沒(méi)找到合適的方法。
最近偶然了解金剛石薄膜這個(gè)技術(shù),包括MPCVD技術(shù)制備金剛石膜,從文獻(xiàn)中看到氣源只需要?dú)錃夂图淄榈幕旌蠚怏w,非常符合我們的實(shí)驗(yàn)需求,因此看看能不能應(yīng)用到我們的實(shí)驗(yàn)上。各路大神有哪位了解具體的技術(shù)細(xì)節(jié)嗎?以及國(guó)內(nèi)哪些單位和老師可以提供這方面的技術(shù)支持?
返回小木蟲查看更多
今日熱帖
京公網(wǎng)安備 11010802022153號(hào)
能請(qǐng)教您些問(wèn)題么?您是用什么方法鍍膜,測(cè)試?yán)嗣矗绻怀龇,除了沒(méi)有鍍上還有沒(méi)有其他原因
石墨相多指的是這些粉末都是石墨不是碳化鈦嗎?是不是需要減少甲烷的通氣?br>,