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求助 用HF緩沖液刻蝕玻璃 腔體表面很粗糙 應該怎么辦 已有2人參與
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| 用HF緩沖液來刻蝕玻璃片（硅片規(guī)格），形成固定腔長的腔體，通過做實驗，刻蝕160nm深的腔，但是腔體的表面很粗糙，用臺階儀測得的峰谷值超過了30nm，自己也想了想原因，采用的玻璃片含有其他的成分，如Na2O，Al2O3等，會生成不易揮發(fā)的產(chǎn)物覆蓋在玻璃表面，自己想的解決方法有在玻璃片上鍍一層氧化硅進行刻蝕，或者采用高純度的玻璃片，蟲友們有做過類似工藝的，有沒有好的建議，謝謝了。 |
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2樓2016-03-03 08:13:16
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