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崖岸自高新蟲 (著名寫手)
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[求助]
PtO/Al multilayered films 加熱時(shí)的反應(yīng)過(guò)程研究
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如題,反應(yīng)濺射制備一層PtO(或者PtO2)薄膜,然后再濺射一層金屬Al薄膜,膜厚500至1000nm,研究PtO/Al薄膜在加熱過(guò)程中PtO與Al的擴(kuò)散反應(yīng)(氬氣氣氛),是否生成了Al2O3,以及Al2O3的分布和形態(tài)等。然而面臨的困難是:PtO易于分解,在氬氣氣氛下400至500攝氏度范圍內(nèi)就會(huì)分解為Pt和氧氣,因此加熱溫度不能過(guò)高,但低溫下即使生成Al2O3,也是非晶態(tài)的,如何檢測(cè)呢? 本人做過(guò)實(shí)驗(yàn),XRD得到Pt-Al合金的衍射峰,SEM斷面無(wú)法準(zhǔn)確確定成分分布,TEM試樣自己制備不出來(lái),因此這個(gè)課題值得做嗎?請(qǐng)高人指點(diǎn)一二,不盡感激。 |
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