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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 如何向微米溝槽陣列中填充介電材料
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holster_1988新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何向微米溝槽陣列中填充介電材料
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| 使用光刻在硅片上制備了10微米間距的溝槽陣列，想在溝槽內沉積Al2O3，使其將溝槽填充滿，且避免非溝槽的區(qū)域也覆蓋上Al2O3，求助高人指點或推薦相關文獻。謝謝！ |
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2樓2016-03-09 19:24:33
reninhat
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4樓2016-03-10 08:51:43
dorrnm
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5樓2016-03-10 09:09:40
yswyx 
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9樓2016-03-10 13:19:06
holster_1988
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3樓2016-03-09 22:31:03
holster_1988
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6樓2016-03-10 09:41:06
holster_1988
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7樓2016-03-10 09:47:13
holster_1988
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8樓2016-03-10 09:48:18
holster_1988
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10樓2016-03-10 15:30:48
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