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rzl120新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射二氧化硅和四氟化碳會不會產(chǎn)生有毒氣體？
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突然查到四氟化硅是毒性物質(zhì)，濺射都變成原子團， 那是不是會發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生二氧化碳和四氟化硅都是氣體？這樣的話就是有毒了��！ 另外很多金屬氟化物都是有毒的，這樣金屬氧化物和四氟化碳共濺射也會這樣？求助解答，謝謝大家了！ 求破零回復(fù)！ |
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