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光復(fù)帝國新蟲 (初入文壇)
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[求助]
新?lián)Q了錳酸鋰靶材，想用磁控濺射鍍膜，想知道實(shí)驗(yàn)條件控制到什么樣子合適一點(diǎn)
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以前一直用的是金屬靶材，最近想用磁控濺射的方法制備薄膜，找了一下也沒有找到相關(guān)的實(shí)驗(yàn)條件是什么樣的，第一次做，想問問有沒有大神做過這方面的實(shí)驗(yàn)，錳酸鋰這樣的靶材用直流做的話什么樣的實(shí)驗(yàn)條件比較合適，比如壓強(qiáng)，靶基距等實(shí)驗(yàn)條件參數(shù)多少的情況下它的濺射效果穩(wěn)定一點(diǎn)呢，還有射頻和直流哪個(gè)好一點(diǎn)呢，小白，求輕噴 |
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 薄膜制備與特性 |
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