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[求助]
請問RIE（反應(yīng)離子刻蝕）怎么刻蝕FTO片子？該用什么氣體？大致的反應(yīng)條件是多少？
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| 小弟想用RIE刻蝕掉FTO上的那層含氟SnO2薄膜，應(yīng)該用什么氣體和條件呢？求助大神 |
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