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磁控濺射金屬鎢薄膜出現(xiàn)α-W與β-W兩種相結(jié)構(gòu) 已有1人參與
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磁控濺射金屬鎢薄膜通過XRD分析出現(xiàn)α-W與β-W兩種相結(jié)構(gòu)，是否可以通過EBSD來標(biāo)定出α-W與β-W的分布呢，或者其它方法來在微區(qū)下標(biāo)定其物相，下圖為做的鎢薄膜的SEM圖，請(qǐng)指教！ C3A`F2PD1Y)D2WHT]7F5(TU.png ODDZANU@A`8N}3%PWFPBP99.png |
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325114100: 金幣+10, ★★★很有幫助 2016-05-26 08:26:39
325114100: 金幣+10, ★★★很有幫助 2016-05-26 08:26:39
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ebsd 可以分析薄膜的取向。我最近也在做磁控濺射的薄膜ebsd，雖然一直沒有做出來。 但是ebsd分析的薄膜晶粒尺寸要是小于50nm，就沒有衍射花樣了。曾看到北科大的一篇200nm晶粒 Cu薄膜的ebsd分析文章。薄膜制備中有應(yīng)力，要做ebsd的話，需要去應(yīng)力�？梢圆扇崽幚恚ㄍ嘶穑�，或者腐蝕去應(yīng)力（用對(duì)應(yīng)的金相腐蝕液）。薄膜的話，我還是推薦熱處理去應(yīng)力。因?yàn)閷殞毑扇「g一直做不成啊。最近準(zhǔn)備熱處理試試看。 歡迎多多交流。 我是北科大的學(xué)生。 祝好運(yùn) |
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3樓2016-05-24 09:07:43
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5樓2016-05-26 09:46:25
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請(qǐng)問你是做什么薄膜的呀，哪個(gè)老師的學(xué)生，我也是北科的學(xué)生，目前一個(gè)也是做薄膜的ebsd，可以多交流下。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
6樓2016-05-30 07:28:17
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