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citylack鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[交流]
【求助】磁控濺射法鍍Ti Au
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做器件，需要在電極上鍍Ti/Au 膜 厚度在100nm左右 實(shí)驗(yàn)室有磁控濺射設(shè)備 可是沒(méi)有濺射Ti Au 的經(jīng)驗(yàn)，也沒(méi)有好的測(cè)量厚度的方法 那位高手可以介紹下經(jīng)驗(yàn)，比如濺射條件 和 大致的厚度 謝謝 [ Last edited by 張?zhí)?on 2008-10-17 at 11:10 ] |
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4樓2008-10-17 14:47:10
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2樓2008-10-17 14:07:28
citylack
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3樓2008-10-17 14:40:03
5樓2008-10-17 17:08:38
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