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正斜角臺面終端用PECVD 淀積SIO2做鈍化層，而后光刻刻... 已有1人參與
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正斜角臺面終端用PECVD 淀積SIO2做鈍化層，而后光刻刻蝕掉SIO2,發(fā)現(xiàn)耐壓急劇變低可能是什么原因? 補充:刻蝕SIO2后發(fā)現(xiàn)斜面的SIO2變薄，且槽面SIO2上仍有光刻膠掩膜 希望能給提供一些幫助，萬分感謝 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2016-04-02 19:57:06
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