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dxozw新蟲 (小有名氣)
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[求助]
求問AZ5214光刻膠在MA6光刻機(jī)曝光做負(fù)膠的工藝參數(shù) 已有1人參與
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| 要在MA6光刻機(jī)上做AZ5214，摸不出參數(shù)啊，有哪位同學(xué)知道AZ5214的做負(fù)膠的工藝參數(shù)嗎？轉(zhuǎn)速、前烘時(shí)間、曝光時(shí)間、后烘時(shí)間等等？？？在線等！急！ |
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why36789
木蟲 (初入文壇)
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5樓2016-12-21 10:24:05
willyion6688
木蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
4樓2016-03-23 10:48:59
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