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chem_hch金蟲 (小有名氣)
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[交流]
初次做SEM,在高加速電壓下,為什么反而對不上焦? 已有6人參與
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掃描電鏡新手,第一次做SEM,用的是 日立SU8000 冷場發(fā)射。 在低加速電壓(5kV左右)下,對焦后,基本上可以看清樣品,但有些模糊。就想加大加速電壓,來得到更清晰的像,大概加到15kV左右,結(jié)果得到的像十分模糊,完全看不清,甚至是基本輪廓也很模糊,無論怎么對焦都不行。 所以,想來請教下,這是為什么?是不是還需要做一些其他的設(shè)置什么的? 不勝感激。 |
木蟲 (正式寫手)
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6樓: Originally posted by chem_hch at 2016-03-18 22:04:26 感謝您的指點。 放大倍數(shù) 不是很大 1萬2千倍的 樣子…… 您說的像散 是不是 這個地方設(shè)置的。 如果是這個,那我已經(jīng)調(diào)整過了,這個應(yīng)該是沒問題的。 您說的,wobble 這個是怎么回事?... wobble就是燈絲對中的意思,我用的是蔡司supra 55,可能日立的叫法不同。在燈絲沒有對中的情況下,幾千倍怎么調(diào)都不會清楚。如果這個也沒問題,你再看看光闌(有些叫束斑直徑) 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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