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濺射鈀材破了一個洞,求高手分析原因
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| 鈀材是CaMnO3,濺射功率用了300W, 一開始正常,大概三五分鐘出現(xiàn)異常,結(jié)果發(fā)現(xiàn)鈀材上破了一個孔,像是什么東西從里邊噴出來了。是不是因為功率太大的導(dǎo)致In破洞而出呢?求教各位高手。試過250W沒有問題。非常感謝~ |
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