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[求助]
求測(cè)殘余應(yīng)力的方法、ZYGO的三維輪廓儀，美國(guó)Corning Tropel 平面度測(cè)量?jī)x
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想測(cè)試PECVD沉積的氮化硅薄膜的應(yīng)力，通過(guò)曲率半徑的方法。但是沒(méi)有找到很準(zhǔn)確的測(cè)曲率半徑的方法，求教！ 現(xiàn)在我們實(shí)驗(yàn)室有 臺(tái)階儀（精度太低，pass），ZYGO的三維輪廓儀，美國(guó)Corning Tropel 平面度測(cè)量?jī)x，查詢到這兩個(gè)儀器都可以測(cè)薄膜的曲率半徑，但不知道如何測(cè)試？ 求大神賜教�。� |
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2樓2016-03-29 13:01:18
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