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seekingalex
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[求助]
請教，RIE刻蝕二氧化硅的刻蝕氣體中He起什么作用？謝謝！ 已有4人參與
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請教一下，RIE刻蝕二氧化硅的刻蝕氣體中He起什么作用？變化有什么影響？ 所用設備的標準工藝為：SF6/CHF3/He=5.5/32/150，RF=200W，Pressure=1850mTorr。 不吝賜教！~ |
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u200810983
禁蟲 (小有名氣)
感謝參與，應助指數(shù) +1
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2樓2016-03-25 09:00:12
3樓2016-03-25 10:32:00
4樓2016-03-25 15:55:44
dorrnm
金蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導體電子器件
5樓2016-03-26 17:05:39
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