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garden2012

金蟲 (小有名氣)

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專業(yè): 半導(dǎo)體電子器件

[求助] GaAs襯底的參數(shù) 已有1人參與

新手第一次，購買GaAs襯底做外延用的，但是衡量GaAs參數(shù)中主參考面OF,次參考面IF表示什么,還有那個(gè)angle指哪個(gè)角度？角度對襯底表面有什么影響？后面的length又表示哪個(gè)長度？求詳細(xì)解釋。。。。。謝謝�。�！

2016-03-25_170227.pnghttp://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2016/0325/bw537h3322442_1458896929_173.png

回復(fù)此樓

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1樓 2016-03-25 17:14:14

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BadBoy杰仔

銀蟲 (初入文壇)

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專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料

【答案】應(yīng)助回帖

襯底一般至少有一條參考邊，有些有兩條，稱為OF、IF參考邊，可以用來作外延后芯片切割方向的參考，angle是指相對于主參考邊（OF）偏轉(zhuǎn)的角度，不同的角度所對應(yīng)的晶向是不一樣的，后面的length就是OF、IF的長度

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回復(fù)此樓

2樓2016-04-01 16:51:31