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薛定諤的角度銅蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
[SilvacoTCAD求助][求通過(guò)Athena仿真而得的器件結(jié)構(gòu)文件str]
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本人畢設(shè)需要用到溝道長(zhǎng)度為90nm、45nm的標(biāo)準(zhǔn)MOSFET器件結(jié)構(gòu)文件，用于atlas器件特性仿真。由于時(shí)間關(guān)系，沒(méi)辦法從Athena中仔細(xì)的仿真出來(lái)。 而簡(jiǎn)單通過(guò)atlas編輯器件又怕不夠標(biāo)準(zhǔn)，會(huì)影響某些特性。自己通過(guò)silaco的devedit器件編輯器簡(jiǎn)單編輯了個(gè)器件，總覺(jué)得也是不夠標(biāo)準(zhǔn)。 器件參數(shù)：襯底摻雜濃度（P型襯底）：5e17。源漏、多晶硅柵摻雜濃度隨意。。 溝道長(zhǎng)度：90nm或45nm； 柵極氧化層厚度：1~1.4nm; 這些是關(guān)鍵參數(shù)。跪求silvaco tcad大神！ |
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