 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » Al剝離困難
| 5 | 2/1 | 返回列表 |
| 查看: 2614 | 回復(fù): 26 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
1154606018新蟲 (小有名氣)
|
[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
|
||
|
請問，磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮，NMP都試過，同種光刻條件Ni很容易剝掉，Al很難很難，郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形，發(fā)現(xiàn)不是倒角，但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角，但是前烘時(shí)間，曝光時(shí)間與顯影時(shí)間哪個(gè)更影響倒角的形成呢？可否給分析一下，謝謝啦！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有162人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
guotao019
新蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 7922.6
- 紅花: 1
- 帖子: 1394
- 在線: 139.3小時(shí)
- 蟲號: 4043897
- 注冊: 2015-08-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學(xué)和光電子學(xué)
|
因?yàn)槟z厚，所以泡丙酮效果很不明顯�？梢栽诔曉±锍瑫Ｎ乙郧罢z2.6um，超了一個(gè)小時(shí)才剝好。。。如果用雙層膠，那就剝的很快了。。。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
12樓2016-03-31 16:50:26
3樓2016-03-30 19:03:52
1154606018
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 236.9
- 散金: 10
- 紅花: 1
- 帖子: 89
- 在線: 32.3小時(shí)
- 蟲號: 4512132
- 注冊: 2016-03-16
- 專業(yè): 光學(xué)和光電子材料
|
顯影后用SEM測了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214，不做反轉(zhuǎn)，一次曝光加顯影Ni剝離沒問題，Al就是剝不掉。請問您說的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
捐助貴賓 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 10833.5
- 散金: 7241
- 紅花: 3
- 帖子: 106
- 在線: 36.8小時(shí)
- 蟲號: 4534227
- 注冊: 2016-03-23
- 性別: MM
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
5樓2016-03-31 11:01:24
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 315求調(diào)劑 +4 | akie... 2026-03-28 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 壓國家一區(qū)線，求導(dǎo)師收留，有恩必謝！ +7 | 迷人的哈哈 2026-03-28 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 085600，材料與化工321分求調(diào)劑 +9 | 大饞小子 2026-03-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | 曼殊2266 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +9 | lin0039 2026-03-26 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑 +8 | 邱gl 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程，267求調(diào)劑 +16 | minht 2026-03-26 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 339求調(diào)劑，想調(diào)回江蘇 +6 | 烤麥芽 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 292求調(diào)劑 +14 | 鵝鵝鵝額額額額?/a> 2026-03-25 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 085701環(huán)境工程求調(diào)劑 +9 | 多久上課 2026-03-27 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 279 分 求調(diào)劑 +4 | 睡個(gè)好覺_16 2026-03-24 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿211，335分，0856，求調(diào)劑院校和導(dǎo)師 +4 | 傾____蕭 2026-03-27 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +10 | 呼呼？~+123456 2026-03-24 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 材料考研求調(diào)劑 +3 | Dendel 2026-03-23 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 0854AI CV方向招收調(diào)劑 +4 | 章小魚567 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 化工專碩求調(diào)劑 +3 | question挽風(fēng) 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 277分求調(diào)劑，跨調(diào)材料 +3 | 考研調(diào)劑lxh 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 341求調(diào)劑(一志愿湖南大學(xué)070300) +5 | 番茄頭--- 2026-03-22 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 070300，一志愿北航320求調(diào)劑 +3 | Jerry0216 2026-03-22 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 石河子大學(xué)（211、雙一流）碩博研究生長期招生公告 +3 | 李子目 2026-03-22 | 3/150 |
|