 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » Al剝離困難
| 5 | 2/1 | 返回列表 |
| 查看: 2614 | 回復(fù): 26 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
1154606018新蟲 (小有名氣)
|
[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
|
||
|
請問，磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮，NMP都試過，同種光刻條件Ni很容易剝掉，Al很難很難，郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形，發(fā)現(xiàn)不是倒角，但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角，但是前烘時間，曝光時間與顯影時間哪個更影響倒角的形成呢？可否給分析一下，謝謝啦！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
求調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院正式調(diào)劑群+聯(lián)系方式）
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有60人回復(fù)
-
化工學(xué)院（學(xué)院官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟高效
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
黑龍江大學(xué)分析化學(xué)招調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢高校國家級人才團隊招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團隊招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團隊招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
guotao019
新蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 7922.6
- 紅花: 1
- 帖子: 1394
- 在線: 139.3小時
- 蟲號: 4043897
- 注冊: 2015-08-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 光學(xué)和光電子學(xué)
|
丙酮超聲用常溫。雙層膠就是涂兩層不同的正膠，下面的膠顯影快，上面的膠顯影慢，那么形成的顯影區(qū)成T型結(jié)構(gòu)，利于剝離。一般要求金屬厚度不大于第一層膠。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
14樓2016-03-31 16:55:12
3樓2016-03-30 19:03:52
1154606018
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 236.9
- 散金: 10
- 紅花: 1
- 帖子: 89
- 在線: 32.3小時
- 蟲號: 4512132
- 注冊: 2016-03-16
- 專業(yè): 光學(xué)和光電子材料
|
顯影后用SEM測了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214，不做反轉(zhuǎn)，一次曝光加顯影Ni剝離沒問題，Al就是剝不掉。請問您說的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
捐助貴賓 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 3 (幼兒園)
- 金幣: 10833.5
- 散金: 7241
- 紅花: 3
- 帖子: 106
- 在線: 36.8小時
- 蟲號: 4534227
- 注冊: 2016-03-23
- 性別: MM
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
5樓2016-03-31 11:01:24
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 291求調(diào)劑 +4 | Y-cap 2026-03-29 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[碩博家園] 求調(diào)劑 有機化學(xué)考研356分 +3 | Nadiums 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
[考研] 一志愿鄭州大學(xué)，080500學(xué)碩，總分317分求調(diào)劑 +5 | 舉個栗子oi 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | 曼殊2266 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +6 | 蘆lty 2026-03-25 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑 +3 | 好好讀書。 2026-03-28 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 277跪求調(diào)劑 +5 | 1915668 2026-03-27 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 265求調(diào)劑 +8 | 小木蟲085600 2026-03-27 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 070300化學(xué)求調(diào)劑 +4 | 起個名咋這么難 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +4 | AZMK 2026-03-27 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 085600，材料與化工321分調(diào)劑 +4 | 大饞小子 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +4 | lim0922 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[碩博家園] 北京林業(yè)大學(xué)碩導(dǎo)招生廣告 +6 | kongweilin 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +3 | 亞克西good 2026-03-26 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 總分293求調(diào)劑 +6 | 加一一九 2026-03-25 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 網(wǎng)絡(luò)空間安全0839招調(diào)劑 +4 | w320357296 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +4 | 錦衣衛(wèi)藤椒 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 化工專碩求調(diào)劑 +3 | question挽風(fēng) 2026-03-24 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 336化工調(diào)劑 +4 | 王大坦1 2026-03-23 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑 +4 | LHHL66 2026-03-23 | 4/200 |
|