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1154606018新蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
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請(qǐng)問(wèn),磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮,NMP都試過(guò),同種光刻條件Ni很容易剝掉,Al很難很難,郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形,發(fā)現(xiàn)不是倒角,但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角,但是前烘時(shí)間,曝光時(shí)間與顯影時(shí)間哪個(gè)更影響倒角的形成呢?可否給分析一下,謝謝啦! 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
新蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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同學(xué),你做的擬合不出來(lái)的N型歐姆采用的傳輸線版圖參數(shù)可否告知我?我好對(duì)比分析我擬合不出來(lái)的問(wèn)題所在。謝謝啦! 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
新蟲(chóng) (小有名氣)
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顯影后用SEM測(cè)了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214,不做反轉(zhuǎn),一次曝光加顯影Ni剝離沒(méi)問(wèn)題,Al就是剝不掉。請(qǐng)問(wèn)您說(shuō)的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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