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1154606018新蟲 (小有名氣)
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[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
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請(qǐng)問，磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮，NMP都試過，同種光刻條件Ni很容易剝掉，Al很難很難，郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形，發(fā)現(xiàn)不是倒角，但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角，但是前烘時(shí)間，曝光時(shí)間與顯影時(shí)間哪個(gè)更影響倒角的形成呢？可否給分析一下，謝謝啦！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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1154606018
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內(nèi)層r=125um，圓環(huán)寬度依次為31,39,50,61,69,81,89,100單位微米，也有做過更小尺寸的，但大多數(shù)用這個(gè)。你也遇到類似情況了嗎 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
16樓2016-03-31 18:03:34
3樓2016-03-30 19:03:52
1154606018
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顯影后用SEM測了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214，不做反轉(zhuǎn)，一次曝光加顯影Ni剝離沒問題，Al就是剝不掉。請(qǐng)問您說的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
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5樓2016-03-31 11:01:24
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