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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » Al剝離困難
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| 查看: 2608 | 回復: 26 | ||
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1154606018新蟲 (小有名氣)
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[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
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請問，磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮，NMP都試過，同種光刻條件Ni很容易剝掉，Al很難很難，郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形，發(fā)現(xiàn)不是倒角，但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角，但是前烘時間，曝光時間與顯影時間哪個更影響倒角的形成呢？可否給分析一下，謝謝啦！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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20樓2016-04-01 08:47:42
3樓2016-03-30 19:03:52
1154606018
新蟲 (小有名氣)
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- 注冊: 2016-03-16
- 專業(yè): 光學和光電子材料
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顯影后用SEM測了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214，不做反轉，一次曝光加顯影Ni剝離沒問題，Al就是剝不掉。請問您說的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2016-03-30 23:58:34
研材-jiali 
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- 專業(yè): 半導體微納機電器件與系統(tǒng)
5樓2016-03-31 11:01:24
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