| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2603 | 回復(fù): 26 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖,點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
1154606018新蟲 (小有名氣)
|
[求助]
Al剝離困難 已有4人參與
|
||
|
請(qǐng)問(wèn),磁控濺射Al很難剝離是怎么回事?丙酮,NMP都試過(guò),同種光刻條件Ni很容易剝掉,Al很難很難,郁悶了。用SEM看了下顯影后的光刻膠圖形,發(fā)現(xiàn)不是倒角,但是Ni為何那么容易剝掉?想重新試光刻條件做成倒角,但是前烘時(shí)間,曝光時(shí)間與顯影時(shí)間哪個(gè)更影響倒角的形成呢?可否給分析一下,謝謝啦! 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
薄膜材料和器件制備 |
新蟲 (小有名氣)
新蟲 (小有名氣)
|
顯影后用SEM測(cè)了膠2.5um厚度可以。用的AZ5214,不做反轉(zhuǎn),一次曝光加顯影Ni剝離沒(méi)問(wèn)題,Al就是剝不掉。請(qǐng)問(wèn)您說(shuō)的用雙層膠是什么意思 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
捐助貴賓 (小有名氣)
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研]
|
鐘llll 2026-03-26 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 071000生物學(xué)求調(diào)劑,初試成績(jī)343 +6 | 小小甜面團(tuán) 2026-03-25 | 6/300 |
|
|
[考研] 349求調(diào)劑 +4 | 李木子啊哈哈 2026-03-25 | 4/200 |
|
|
[考研] 08工學(xué)調(diào)劑 +13 | 用戶573181 2026-03-20 | 20/1000 |
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +6 | Ymlll 2026-03-24 | 6/300 |
|
|
[考研] 學(xué)碩274求調(diào)劑 +3 | Li李魚 2026-03-26 | 3/150 |
|
|
[考研] 279求調(diào)劑 +6 | 紅衣隱官 2026-03-21 | 6/300 |
|
|
[考研] 材料科學(xué)與工程 317求調(diào)劑 +4 | JKSOIID 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
[考研] 281求調(diào)劑 +6 | Koxui 2026-03-24 | 7/350 |
|
|
[考研] 085600 材料與化工 329分求調(diào)劑 +9 | Mr. Z 2026-03-25 | 9/450 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | QiMing7 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +3 | 璞玉~~ 2026-03-25 | 3/150 |
|
|
[考研] 招08考數(shù)學(xué) +8 | laoshidan 2026-03-20 | 17/850 |
|
|
[考研] 300分,材料,求調(diào)劑,英一數(shù)二 +5 | 超贊的 2026-03-24 | 5/250 |
|
|
[考研] 306求0703調(diào)劑一志愿華中師范 +10 | 紙魚ly 2026-03-21 | 11/550 |
|
|
[考研] 材料292調(diào)劑 +8 | 橘頌思美人 2026-03-23 | 8/400 |
|
|
[考研] 276求調(diào)劑。有半年電池和半年高分子實(shí)習(xí)經(jīng)歷 +9 | 材料學(xué)257求調(diào)劑 2026-03-23 | 10/500 |
|
|
[考研] 328求調(diào)劑 +4 | LHHL66 2026-03-23 | 4/200 |
|
|
[考研] 考研調(diào)劑 +3 | 呼呼?~+123456 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +3 | eation27 2026-03-20 | 3/150 |
|