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[求助]
離子注入深度模擬計算
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樣品離子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均勻。調(diào)整均勻束斑后，在靶流強只有0.5euA，劑量3.0×1016粒子/cm2，輻照用時36h。 基底為金剛石紫晶，求大神用TRIM 軟件來模擬一下注入深度 。謝謝 [ 發(fā)自手機版 http://www.gaoyang168.com/3g ] |
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