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zju2015新蟲 (初入文壇)
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[求助]
金屬薄膜熱敏電阻器件的熱處理工藝問題
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熱蒸發(fā)鍍金屬Ni膜之后，需要進(jìn)行熱處理有效地消除缺陷，改善薄膜的內(nèi)部組織，提高其性能。 通過查閱文獻(xiàn)資料發(fā)現(xiàn)大多采用爐管熱處理，一般進(jìn)行高溫幾個小時的處理。目前我們這邊沒有這種爐管設(shè)備，只有RTP快速退火爐，一般處理時間是幾秒到幾分鐘。 1、請問可以用RTP快速退火爐進(jìn)行熱處理100nm的Ni膜嗎？ 2、工藝條件如何（溫度，時間。。。）？ 3、RTP快速退火爐是不是沒有爐管設(shè)備處理得效果好��？ |
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2樓2016-07-18 17:22:53
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