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1154606018新蟲 (小有名氣)
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[求助]
如何監(jiān)測sio2-SiC界面情況?
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RT，樓主用SiO2做的鈍化膜，材料是SiC，正斜角臺面終端，做完鈍化膜之后用SEM觀察臺面有SiO2但是擊穿電壓測試后樣片特性損壞也就是無耐壓，老板說SiC擊穿測試后樣片電特性應該還是好的，樓主現(xiàn)在不清楚是哪里出的原因?不知道是測壞了還是工藝本身問題?所以想從SiC與SiO2的接觸界面的情況著手分析，但是不知道該用何種方法何種設備去監(jiān)測接觸界面的情況。希望有相關經(jīng)驗的人士可以指導一下，萬分感謝 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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ligq410
新蟲 (小有名氣)
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2樓2018-02-08 14:06:04
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