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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料其他 » 鋁箔對磁控濺射有影響嗎？
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| 查看: 1274 | 回復: 10 | |||
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wangle_17金蟲 (正式寫手)
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[交流]
鋁箔對磁控濺射有影響嗎？
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各位大神，射頻磁控濺射真空腔體如何清洗啊？ 在內(nèi)壁貼一層鋁箔對濺射有影響嗎？ |
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jedi-j
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
wangle_17(紅舟流星代發(fā)): 金幣+6, 代扣代發(fā)金幣 2016-06-29 06:56:53
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
wangle_17(紅舟流星代發(fā)): 金幣+6, 代扣代發(fā)金幣 2016-06-29 06:56:53
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補充∶但是固定鋁箔避免亂飄，和縫隙的放氣略為影響抽氣效率。以前我們實驗室是直接作內(nèi)套，保養(yǎng)時整個取出清潔。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
9樓2016-04-06 13:35:33
2樓2016-04-05 13:37:42
3樓2016-04-05 13:43:33
swallowzyx
木蟲 (正式寫手)
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4樓2016-04-05 14:07:41
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