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二氧化鈦薄膜 已有1人參與
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旋涂后退火，薄膜就開(kāi)裂了。請(qǐng)問(wèn)是什么原因呢？退火溫度是大概200分鐘升溫到450度，保持兩個(gè)小時(shí)再200分鐘降溫到室溫。 有人說(shuō)薄膜太厚，那旋涂怎么減小膜厚？我已經(jīng)是滴得很少了，一滴。能均勻覆蓋玻璃。嘗試改變退火溫度，還是開(kāi)裂啊 @dut_ameng 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
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可以試試加大轉(zhuǎn)速！還不行就得調(diào)整溶膠了！升溫過(guò)程在一些溫區(qū)要適當(dāng)保溫。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
2樓2016-04-09 00:14:55
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你好，我嘗試過(guò)改變轉(zhuǎn)速，時(shí)間。退火出來(lái)的薄膜一直有發(fā)黑開(kāi)裂脫落的現(xiàn)象。用手一抹就沒(méi)有了 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
3樓2016-04-10 10:06:22
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退火之后拿去做一下XPS,看看主要成分，打能譜也行！升溫時(shí)注意階段保溫，將揮發(fā)溶劑和可分解溶劑分開(kāi)去除！再看看微觀(guān)結(jié)構(gòu)！ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
//ab4樓2016-04-11 23:10:19
5樓2016-04-12 10:00:59
6樓2016-04-12 14:11:32
7樓2016-04-12 14:11:50
8樓2016-04-12 14:17:59
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9樓2016-04-13 08:04:17
10樓2016-04-13 15:42:47
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