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崖岸自高新蟲 (著名寫手)
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[求助]
濺射功率對薄膜沉積速率的影響
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| 大家好，最近在一篇論文中看到討論濺射功率對薄膜沉積速率的影響時用到一個公式：R = C•η•J ，其中C為與濺射裝置有關(guān)的常數(shù)，η是濺射產(chǎn)額，J 是電流密度。但是文中是直接使用，沒有給出參考文獻，請問這個公式的外文出處大家知道嗎？請熟悉的這一塊的老師或同學(xué)給我指點一下，謝謝！ |
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qlihustmsti
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2樓2016-04-12 20:46:40
崖岸自高
新蟲 (著名寫手)
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3樓2016-04-14 20:06:32
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