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勿忘心安里鐵蟲 (小有名氣)
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[求助]
光刻機(jī)的曝光時(shí)間確定
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光刻機(jī)的曝光時(shí)間確定，我們需要的曝光能量是40-45mj/cm^2,但在判定曝光功率時(shí)，測(cè)定示數(shù)一直顯示1460uw(原來是4000uw,曝光時(shí)間是10s);現(xiàn)在把曝光時(shí)間設(shè)定為20s或30s,測(cè)定示數(shù)還是顯示1460uw。 分析原因：1.可能紫外線（i線）本身能量不足，但也不至于這樣��； 2.測(cè)功率值得儀器出現(xiàn)問題，但也不會(huì)無緣無故就壞了啊。 |
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victoryn 
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2樓2016-12-03 17:43:22
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