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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 請教大家去除殘膠（PMMA）的方法
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[交流]
請教大家去除殘膠（PMMA）的方法
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| 本人用CVD法在銅基上生長石墨烯，然后用旋涂PMMA+刻蝕的方法把石墨烯轉移到硅片上，再用丙酮+異丙醇去除PMMA，但是發(fā)現(xiàn)PMMA根本無法完全去除干凈（在光學顯微鏡或者原子力顯微鏡下可以清楚的看到很多的殘膠）以至于影響到后續(xù)的工藝，在此請教大家有沒有什么簡單可行的方法去除殘膠（退火是其中一個方法），歡迎大家不吝指點。 |
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23樓2016-05-11 19:50:55
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11樓2016-05-07 16:41:10
15樓2016-05-07 17:25:39
17樓2016-05-07 17:33:23
18樓2016-05-07 17:34:05
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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CVD石墨烯表面有好多官能團和懸掛鍵的，高溫下能和PMMA化合，容易越來越臟。所以一般只有機械剝離的石墨烯才退火。 另外DMSO浸泡CVD石墨烯可以短時間改善遷移率 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
21樓2016-05-07 21:08:24
22樓2016-05-09 09:35:12
24樓2016-05-11 23:39:49
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28樓2021-01-21 00:16:19
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29樓2021-01-21 17:38:11
簡單回復
2016-05-07 15:34
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天涯20123樓
2016-05-07 15:38
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2016-05-07 15:53
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hbl2157樓
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祝福
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laom20139樓
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yuzhuce10樓
2016-05-07 16:35
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祝福 發(fā)自小木蟲IOS客戶端
tzynew12樓
2016-05-07 16:59
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tzynew13樓
2016-05-07 17:03
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tan91414樓
2016-05-07 17:17
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溫柔的黃瓜16樓
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caledonian19樓
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xhmaohan20樓
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weiyaxu25樓
2018-05-16 17:05
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