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guotao019新蟲 (著名寫手)
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[求助]
P型4H-SiC歐姆接觸傳輸線法測出來電阻值過小且沒規(guī)律，為什么？ 已有1人參與
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N外延片上離子注入鋁形成P型4H-SiC，目標濃度為3*10^20 cm-3，深度400nm，箱型分布；做的歐姆接觸，P型傳輸線法測出來電阻值在10歐左右，而且不是呈隨著Pad間距增大而電阻增大的趨勢。而且按國際上這種濃度激活后的體電阻都在幾千歐左右，那么測出來的傳輸線電阻也起碼有數(shù)十歐到數(shù)百歐。為什么我測出來的電阻這么小而且擬合不出來？ 求大神告知原因？ ps: 金屬剝離的很干凈。 P15-annealed-100BEI.jpg |
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喵123456
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4樓2018-07-01 21:02:33
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