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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射鍍鋅膜鍍不上去？急�。�！
| 查看: 1672 | 回復: 14 | ||
小小方大李李銅蟲 (初入文壇)
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磁控濺射鍍鋅膜鍍不上去？急！��！ 已有1人參與
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| 我用的鋅靶材在石英玻璃上做直流濺射（65W）和射頻濺射(90W)，沒有通氧氣，只通了氬氣，都沒有鍍上去，沒有任何顏色，沒有電阻，但是在用直流濺射時通了1.0氧氣就可以鍍上一層黑色的薄膜，猜測是鋅膜，求問大神們這是為什么？？ |
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2樓2016-05-31 07:19:56
wiseroy
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3樓2016-05-31 07:53:16
xiaofeng-wang
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純鋅肯定是可以沉積的，是不是靶基距不合適？或者功率太低，沒起輝？薄一點的話，應該是無色透明的。氧化鋅也是透明的，發(fā)黑應該和靶有關系，洗一下靶，表面雜質問題，還有一個可能是真空有問題，可能漏氣。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2016-05-31 08:49:12
小小方大李李
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5樓2016-05-31 08:55:00
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6樓2016-05-31 08:55:39
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10樓2016-05-31 20:28:51
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