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[求助]
如何獲得1微米的金膜或者鋁膜,厚度均勻,無襯底的 已有3人參與
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| 通過濺射的方法,沉底不易去掉,腐蝕襯底的時候怕對薄膜造成損害。 |
薄膜材料和器件制備 |
新蟲 (著名寫手)
我覺得可以在硅上先甩一層光刻膠,在光刻膠上鍍金膜,然后用丙酮把光刻膠洗掉,當(dāng)然光刻膠要涂厚一點![]() ![]() 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗: +651 |
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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覺得1微米的薄膜很難操作吧,樓主可以考慮使用很薄的襯底,做實驗的時候把襯底的影響考慮進(jìn)去 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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在硅上鍍呢?然后用氫氧化鉀溶解硅 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
木蟲 (著名寫手)
航空發(fā)動機

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