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zyh805277925新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
請(qǐng)問(wèn)有什么辦法能測(cè)量復(fù)合薄膜的折射率 已有2人參與
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| 硅基底上的10nm的al2o3，再加上1nm的HFo2,想求助一下如何能夠測(cè)量Hfo2的折射率呢，al2o3的折射率應(yīng)該會(huì)對(duì)Hfo2的有影響吧 |
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伽魯特
至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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- 金幣: 10755.6
- 散金: 800
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- 帖子: 2766
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- 蟲(chóng)號(hào): 2394510
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- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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好像用膜厚儀能測(cè)，我用過(guò)幾次，不太熟，那個(gè)是能編輯一個(gè)樣品的大概結(jié)構(gòu)，每一層什么材料，多厚，折射率和消光系數(shù)是多少，然后配合著參比樣進(jìn)行計(jì)算和擬合，然后最后能算出結(jié)果。你可以了解了解，如果真的能測(cè)的話，你還得準(zhǔn)備一個(gè)si+藍(lán)寶石的一個(gè)樣品作為參考樣。不過(guò)你那個(gè)就1nm厚，我覺(jué)得用什么儀器都?jí)騿?br />
發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
2樓2016-06-03 22:47:06
summerfox008
新蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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3樓2016-06-17 22:08:54
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