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tiger_2012金蟲(chóng) (小有名氣)
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磁控濺射制備的NbTiN薄膜應(yīng)力比較大，什么原因引起的 已有1人參與
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| 磁控濺射在Si+SiO2襯底上生長(zhǎng)的NbTiN薄膜，300nm厚的拿出來(lái)就起皮，改變?yōu)R射氣壓從0.3Pa到0.7Pa，影響不大，用NbTi合金靶材，濺射時(shí)通Ar：N2=8.5比例制備 |
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