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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 求助刻蝕Au的工藝
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天降花雨鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助刻蝕Au的工藝
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請問如何在一個傾斜的表面例如錐，刻蝕其表面的AU，金屬是用熱蒸發(fā)生長上去的,大約70nm，我之前有嘗試用反應離子刻蝕，刻蝕過，效果不好，錐表面上的沒怎么掉，襯底平面上都刻壞了，大家有什么好的辦法嗎？謝謝啦！ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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天降花雨6樓2016-07-11 10:35:29
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