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青春淪落在新蟲 (初入文壇)
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[交流]
光刻曝光過程中，曝光時(shí)間長短對結(jié)果有什么影響 已有1人參與
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| 在光刻過程中，曝光時(shí)間過長和曝光時(shí)間過短，對曝光的結(jié)果有何影響。曝光完畢，顯影過凈是什么意思？這些參數(shù)應(yīng)該如何獲取 |
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yswyx 
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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敲字太累。我們最近會出一些簡單的資料，介紹一下原理性問題。你可以發(fā)個(gè)聯(lián)系方式給我，等資料做好了，我先通知你。 你也可以發(fā)郵件給tech@rdmicro.com，然后把具體遇到的問題寫進(jìn)去，像這樣開放性的問題，很難用短篇幅來解答，而且最好是進(jìn)行系統(tǒng)性學(xué)習(xí)。 先簡單和你說一下，曝光過長的后果由很多：比如光刻膠輪廓變差，氣泡，無法顯影，光刻膠改性等等。過短，無法曝透光刻膠，顯影顯不出，或者顯影不干凈，負(fù)膠的話，圖形不完整，輪廓差等等。過顯，指的是顯影超出標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間，一般表現(xiàn)是輪廓變差，掉膠，厚度變薄等等。 |
2樓2016-07-22 12:26:13
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