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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 打微米孔
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[求助]
打微米孔 已有1人參與
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| 我想在有機(jī)聚合物膜材料上打微米級的孔，孔深25微米，哪位能知道該用什么方法呢？ |
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yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
zhaizihui: 金幣+5 2016-07-23 09:38:52
zhaizihui: 金幣+5 2016-07-23 09:38:52
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一個方法是模壓，一個方法是做光刻和刻蝕。 你的膜材料多厚？什么性質(zhì)的？ 可以發(fā)郵件給我看看具體的技術(shù)要求。tech@rdmicro.com |
2樓2016-07-22 12:11:07
3樓2016-07-23 09:52:40
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之前做過pi膜 50um的薄膜打30um的深度，激光做基本可行！ 13002136817@163.com 費(fèi)米激光提供的激光微孔打孔設(shè)備，最小加工微孔孔徑（線寬）5μm，整體加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃、有機(jī)物等材料精密盲孔、通孔、開槽、切割加工等。 主要用于：半導(dǎo)體柔性電路板切割、ITO膜層蝕刻、微電子器件制造、印刷模板制備、生物芯片制備、精密模具成型、精密儀器儀表www.fermilaser.com |
4樓2016-07-25 10:18:57
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