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Hawkingv587

禁蟲 (初入文壇)

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1樓 2016-07-20 16:20:48

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kangye_1989

木蟲 (著名寫手)

應(yīng)助: 585 (博士)
金幣: 1361.5
散金: 50
紅花: 45
帖子: 1216
在線: 149.1小時(shí)
蟲號(hào): 2737587
注冊(cè): 2013-10-19
專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)

【答案】應(yīng)助回帖

Ar以一定角度轟擊在靶材表面，產(chǎn)生一個(gè)平行于表面和一個(gè)垂直于表面的動(dòng)量分量，使材料脫離靶材表面（垂直方向），濺射到襯底上。垂直于靶材表面的分量會(huì)影響材料脫離靶材所具有的動(dòng)能，影響材料撞擊在襯底上的動(dòng)能，從而影響薄膜生長質(zhì)量。

回復(fù)此樓

2樓2016-07-25 11:45:06

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