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辰小千新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射分子泵工作壓力越抽越高!!!好著急！��！ 已有4人參與
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今天我鍍膜按照遺忘步驟一切工作正常，直到我用機(jī)械泵抽到14Pa后，關(guān)閉旁抽閥V4，打開電磁閥，運行分子泵，開啟閘板閥后壓力越升越高，（沒有異常響聲）我一開始我以為是壓力計有問題，可是示數(shù)一直漲，漲到快100Pa時，分子泵報警聲音很小，故障燈亮起來了。最后我用正常步驟關(guān)閉了儀器。仔細(xì)回想了一下步驟沒有任何問題，水冷也是開了的，機(jī)械泵工作正常（密閉性沒有問題）。這到底是怎么回事呀？？是分子泵的什么問題呀？？望各位大神告知，感激不盡！ |
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辰小千
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