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SrTiO3襯底腐蝕成原子級別平整臺階狀的方法 已有3人參與
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因為要外延生長某種鈣鈦礦物質，需要用到SrTiO3（STO）襯底。但是STO襯底使用前必須經(jīng)過化學腐蝕和高溫處理才能形成原子級別平整度的臺階狀。 最近，我進行了多次嘗試，最開始，找到了呂惠賓老師等在中國科學發(fā)表的一篇文章，按照他的方法進行了腐蝕，觀察完AFM后，發(fā)現(xiàn)存在如下的問題： 1.臺階是出現(xiàn)了，但是臺階的邊并不平，而是成一些曲線的臺階。 2.臺階上還分布有一些針狀的物質，不知道是什么物質。 3.用進口襯底腐蝕可以整體都是臺階，用國產(chǎn)的只能腐蝕出局部臺階狀。 針對以上問題，請問大家，我還該如何改進？謝謝大家！ 近期又看到了薛其坤院士等的腐蝕襯底的專利，其中有一個步驟是在酸里煮45分鐘，做出來更加的不行。最近為此非常犯愁，希望大家能給予指點！謝謝大家。 下面是我近期腐蝕的結果： 進口STO襯底腐蝕結果： 國產(chǎn)STO襯底腐蝕結果：（局部出現(xiàn)臺階） |
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5樓2016-08-02 10:27:25
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2樓2016-08-01 07:57:17
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關于STO處理方法可以參照劉忠范院士前兩年發(fā)表在JACS上直接在STO上生長石墨烯的前處理方法，應該是在附件里面有提到，另外還有APL上也有以往的文獻可以參考，具體條件我記得不是太清楚了。另外感覺這AFM圖掃的有的粗糙可能參數(shù)沒有調好或者針尖不行，不過AFM圖旁邊還能看到很大的白色亮點，估計STO也是沒有完全處理好 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2016-08-01 08:15:27
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9樓2016-08-03 03:50:56
10樓2018-04-13 08:52:26
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