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xwzg新蟲 (小有名氣)
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[求助]
請教如何在PMMA-A11約3um厚的PMMA上做EBL曝光？
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如題，由于實驗需要，必須要在盡量厚的PMMA上做pattern，現(xiàn)在選擇在A11上，大概厚度為3um左右。 在進行EBL曝光時發(fā)現(xiàn)，樣品很容易荷電，這應該是由于PMMA太厚，導電性太差所致。 請問有這方面經(jīng)驗的高手是如何處理這個問題的？不知道在表面噴一層碳再做EBL的可行性如何？ 跪求大神指導 |
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2樓2018-10-30 13:12:47
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