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濤濤來(lái)奮斗木蟲(chóng) (小有名氣)
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老師你好，我用磁控濺射做的純金屬鈦薄膜，為什么測(cè)不到結(jié)晶峰？... 已有4人參與
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老師你好，我用磁控濺射做的純金屬鈦薄膜，為什么測(cè)不到結(jié)晶峰？多次測(cè)試結(jié)果都一樣 @comma 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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1）磁控沉積鈦，一般情況下必定是晶態(tài)；根據(jù)膜的厚度達(dá)到200nm，沉積時(shí)間應(yīng)該有10min以上了，有足夠的時(shí)間形成晶態(tài)的鈦膜，只是晶粒的大小和結(jié)晶度好壞的問(wèn)題； 2）你的xrd結(jié)果有沒(méi)有基體峰？這樣厚度的膜用常規(guī)的衍射方法肯定可以測(cè)到基體峰。沒(méi)有基體峰，你最好重測(cè)一下。如果有基體峰，有沒(méi)有顯示非晶態(tài)的那種饅頭峰？可能這就是你的鈦膜。你可以把測(cè)試結(jié)果和純基體的結(jié)果對(duì)比一下看看，也許就會(huì)有發(fā)現(xiàn)。 3）測(cè)薄膜一般要加個(gè)薄膜附件，你要問(wèn)問(wèn)管設(shè)備的老師看配了沒(méi)有。 你能否上傳一下你測(cè)的xrd結(jié)果，具體分析一下。 |
17樓2016-08-31 20:16:57
comma
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2樓2016-08-29 16:39:47
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10到90度范圍內(nèi)測(cè)的，沒(méi)有峰，多次測(cè)量結(jié)果一樣，鈦金屬也需要退火處理嗎？ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
3樓2016-08-29 20:45:08
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4樓2016-08-29 20:46:21
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您好！能不能給我發(fā)一點(diǎn)，我是做非晶合金等我，如果是非晶呢！據(jù)說(shuō)已經(jīng)有了單質(zhì)非晶 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
5樓2016-08-29 21:19:28
peterflyer 
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6樓2016-08-29 21:42:23
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7樓2016-08-30 22:36:47
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8樓2016-08-30 22:37:15
xcjt2020
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不知道您方便不？科學(xué)往往都是意外的發(fā)現(xiàn)，這次萬(wàn)一就是咱們呢？萬(wàn)一，，，謝謝 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶(hù)端 |
9樓2016-08-31 07:02:59
qinlilu_276
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你測(cè)試的時(shí)候掠射角是多少？一般薄膜做XRD的掠射角都是小角度，2度左右，你說(shuō)的10-90度是掃描角度范圍 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
10樓2016-08-31 07:36:02
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