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制備fluidFM tip 遇到的問題
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本蟲寶寶最近在做fluidFM tip的制備。利用TMAH腐蝕polysilicon scarifical layer來獲取microfulid channel.可是在腐蝕之后的清潔和干燥的過程，一直遇到了納米孔堵塞的問題。如下圖所示，有相關領域的大神給點意見嗎？ 已經嘗試了改變腐蝕的溫度。 添加IPA，可是效果都不明顯。求大神指教. 圖一為正常成功制備的圖片。圖二是有堵塞的圖片 The probe is fabricated by the surface micromachining using a sacrificial polysilicon technique. In this technique a sacrificial polysilicon layer, enclosed by the silicon nitride walls, is removed by wet chemical etching in alkaline solution (TMAH) to obtain a microfluidic channel. It is of paramount importance to clean the wafer properly after the sacrificial etching in order to remove any residue from the microchannel in order to prevent clogging of the nanoscale aperture. Any suggestions fluid tip.png |
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2樓2016-10-05 13:55:41
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