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Only丶One銅蟲 (小有名氣)
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[交流]
生長金屬鎢薄膜的方法 已有2人參與
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小弟現(xiàn)在要生長金屬鎢（W)納米薄膜，但是用磁控濺射，發(fā)現(xiàn)是柱狀的多晶鎢，中間的有一些縫隙，換句話說生長的薄膜質(zhì)量不好。 然后想問下，除了磁控濺射技術(shù)，還有什么方法能夠生長鎢薄膜呀，熱蒸鍍可以嗎？或者其他的，要求能夠長出晶體質(zhì)量比較好的致密一點的薄膜。 謝謝各位老師和師兄師姐的指導(dǎo)。 |
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3樓2016-11-05 19:45:44
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