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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 求助 微納制造
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908966815新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助 微納制造 已有3人參與
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想在sio2或si上面濺射鋁機會難得，想問一下有沒有那個師兄做過厚度是多少，不知鋁在其表面附著效果。需要不需要用cr打底？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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強哥哥哥
新蟲 (著名寫手)
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2樓2016-10-22 13:22:18
908966815
新蟲 (初入文壇)
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3樓2016-10-22 14:26:41
叫我小川兄吧
木蟲 (正式寫手)
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4樓2016-10-23 13:50:19
lee0803
木蟲 (小有名氣)
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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看你鋁做多厚，一般磁控濺射100~300nm不用Cr打底的.如果做的厚的話，最好用Cr打底，Cr的厚度是Al的5％差不多。1.5um厚度以下工藝算比較常見的，再厚的話就要慢慢調(diào)工藝了。不同設(shè)備差距還是挺大的。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
» 本帖已獲得的紅花（最新10朵）
9089668155樓2016-10-24 16:14:33
908966815
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