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[交流]
如何生長2nm左右的金屬膜？
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請問熟悉半導(dǎo)體工藝方面的大神，用什么設(shè)備能長1-2nm的金屬膜（金膜 或者銀膜），聽說磁控濺射可以，國內(nèi)哪里可以做，精度度如何？同時(shí)這么薄的膜用什么測試儀器能夠較為準(zhǔn)確的測試？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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 薄膜制備與特性 |
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李小華
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5樓2016-11-02 12:11:00
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王倩113251: 金幣+1 2016-11-02 23:46:26
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王倩113251: 金幣+1 2016-11-02 23:46:26
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磁控濺射做2nm 薄膜， 這個(gè)非常難控制，還要看是什么金屬。誤差也比較大。 對于小基片有可能，對于大基片估計(jì)比較難。你可以找同濟(jì)大學(xué)試試 1） 你的硅片基底的拋光 要做的非常高 ，估計(jì)在幾個(gè)埃的水平 2） 沉積的速率要非常的慢，同時(shí)要束縛等離子和調(diào)控 估計(jì)銀膜 比較難， 金膜是否有可能不太了解 。其他Ti 或鉻 或許有可能。 測量方式： 最好的原位測試。 如果你鍍完基片，在空氣中暴露幾分鐘，測量誤差可能就不止2nm |
6樓2016-11-02 12:12:54
未成曲_調(diào)721
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8樓2016-11-02 12:56:33
9樓2016-11-02 14:55:38
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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最近在做一臺厚度5-20納米的磁場輔助濺射設(shè)備，理論上講應(yīng)該可以，實(shí)際操作有困難。主要思路，采用磁場輔助的濺射沉積（不是真正的磁控濺射），外加掩膜控制濺射區(qū)域。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
10樓2016-11-03 07:14:35
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