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[求助]
射頻磁控濺射鍍sio2相關(guān)問題 已有1人參與
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sio2還沒鍍過，打算近期開始做，有幾個疑問。 1.打算用的參數(shù)功率用110w，氬氣1pa，靶基距固定是10cm，不知道功率參數(shù)選的是否合理，個人感覺不同設(shè)備參數(shù)會有所區(qū)別 2.關(guān)心三點(diǎn)問題，一能否沉積，二鍍兩三個小時會不會容易出現(xiàn)裂靶情況，三沉積速率會達(dá)到多少呢？ 新手請大家多多指教，謝謝！ @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★
我是小混子: 金幣+3, ★★★很有幫助 2017-05-07 00:55:26
我是小混子: 金幣+3, ★★★很有幫助 2017-05-07 00:55:26
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1.參數(shù)設(shè)置可以，肯定能鍍上，最佳參數(shù)需要摸索。2.靶材是sio2靶材？很有可能會裂。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
2樓2016-11-10 07:13:15
歐姆007
金蟲 (小有名氣)
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3樓2016-11-26 23:28:12
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